Autor:	Huebner, Uwe, Weber, Karina, Cialla, Dana, Haehle, Robert, Schneidewind, Henrik, Zeisberger, Matthias, Mattheis, Roland, Meyer, Hans-Georg, Popp, Juergen
Zdroj:	In Microelectronic Engineering October 2012 98:444-447
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect