Phase stabilization of sputtered strontium zirconate

Autor:	Grube, M., Martin, D., Weber, W.M., Mikolajick, T., Riechert, H.
Zdroj:	In Microelectronic Engineering 2011 88(7):1326-1329
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect