Thermally driven piezoresistive cantilevers for shear-force microscopy
Autor: | Woszczyna, M., Gotszalk, T., Zawierucha, P., Zielony, M., Ivanow, Tzv., Ivanowa, K., Sarov, Y., Nikolov, N., Mielczarski, J., Mielczarska, E., Rangelow, I.W. |
---|---|
Zdroj: | In Microelectronic Engineering 2009 86(4):1212-1215 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |