Thermally driven piezoresistive cantilevers for shear-force microscopy

Autor: Woszczyna, M., Gotszalk, T., Zawierucha, P., Zielony, M., Ivanow, Tzv., Ivanowa, K., Sarov, Y., Nikolov, N., Mielczarski, J., Mielczarska, E., Rangelow, I.W.
Zdroj: In Microelectronic Engineering 2009 86(4):1212-1215
Databáze: ScienceDirect