Vertically stacked non-volatile memory devices – material considerations

Autor: Godlewski, M., Guziewicz, E., Szade, J., Wójcik-Głodowska, A., Wachnicki, Ł., Krajewski, T., Kopalko, K., Jakieła, R., Yatsunenko, S., Przeździecka, E., Kruszewski, P., Huby, N., Tallarida, G., Ferrari, S.
Zdroj: In Microelectronic Engineering 2008 85(12):2434-2438
Databáze: ScienceDirect