Optical heating for short hot embossing cycle times

Autor:	Seunarine, K., Gadegaard, N., Riehle, M.O., Wilkinson, C.D.W.
Zdroj:	In Microelectronic Engineering 2006 83(4):859-863
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect