Polyimide sacrificial layer for SOI SG-MOSFET pressure sensor
Autor: | Fernández-Bolaños, M., Abelé, N., Pott, V., Bouvet, D., Racine, G-A., Quero, J.M., Ionescu, A.M. |
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Zdroj: | In Microelectronic Engineering 2006 83(4):1185-1188 |
Databáze: | ScienceDirect |
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