Autor:	Ohtani, Noboru, Katsuno, Masakazu, Tsuge, Hiroshi, Fujimoto, Tatsuo, Nakabayashi, Masashi, Yashiro, Hirokatsu, Sawamura, Mitsuru, Aigo, Takashi, Hoshino, Taizo
Zdroj:	In Microelectronic Engineering 2006 83(1):142-145
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect