Nanoimprint lithography of sub-100 nm 3D structures

Autor:	Konijn, M., Alkaisi, M.M., Blaikie, R.J.
Zdroj:	In Microelectronic Engineering 2005 78:653-658
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect