Analysis of residual thermal stress for AlN crystal growth by PVT

Autor:	Qin, Z.Y., Li, W.L., Sun, Z.H., Ji, J.H., Wu, H.L., Jin, L.
Zdroj:	In Vacuum August 2023 214
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect