Influence of the argon ratio on the structure and properties of thin films prepared using PECVD in TMSAc/Ar mixtures
| Autor: | Kelarová, Štěpánka, Přibyl, Roman, Homola, Vojtěch, Polčák, Josef, Charvátová Campbell, Anna, Havlíček, Marek, Vrchovecká, Kateřina, Václavik, Richard, Zábranský, Lukáš, Buršíková, Vilma |
|---|---|
| Zdroj: | In Vacuum January 2023 207 |
| Databáze: | ScienceDirect |
| Externí odkaz: |
|
Full Text from ScienceDirect