Secondary electron emission in scanning Ga ion, He ion and electron microscopes

Autor:	Ishitani, T., Yamanaka, T., Inai, K., Ohya, K.
Zdroj:	In Vacuum 2010 84(8):1018-1024
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect