Preparation of thin GaAs suspended membranes for gas micro-sensors using plasma etching
| Autor: | Haščík, Š., Hotový, I., Lalinský, T., Vanko, G., Řeháček, V., Mozolová, Ž. |
|---|---|
| Zdroj: | In Vacuum 2007 82(2):236-239 |
| Databáze: | ScienceDirect |
| Externí odkaz: |
|
| Autor: | Haščík, Š., Hotový, I., Lalinský, T., Vanko, G., Řeháček, V., Mozolová, Ž. |
|---|---|
| Zdroj: | In Vacuum 2007 82(2):236-239 |
| Databáze: | ScienceDirect |
| Externí odkaz: |
|
Full Text from ScienceDirect