Plasma CVD of alumina—Unsolved problems
| Autor: | Laimer, J., Fink, M., Mitterer, C., Störi, H. |
|---|---|
| Zdroj: | In Vacuum 2005 80(1):141-145 |
| Databáze: | ScienceDirect |
| Externí odkaz: |
|
| Autor: | Laimer, J., Fink, M., Mitterer, C., Störi, H. |
|---|---|
| Zdroj: | In Vacuum 2005 80(1):141-145 |
| Databáze: | ScienceDirect |
| Externí odkaz: |
|
Full Text from ScienceDirect