Diffusion and activation of Zn implanted into InP:S

Autor:	Jakieła, R., Barcz, A., Wegner, E., Zagojski, A.
Zdroj:	In Vacuum 2005 78(2):417-422
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect