Defects induced by hydrogen implantation in n-Si/SiO2 structures

Autor:	Simeonov, S. *, Gushterov, A., Szekeres, A., Kafedjiiska, E.
Zdroj:	In Vacuum 5 November 2004 76(2-3):303-306
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect