Plasma diagnostic of an RF magnetron Ar/N 2 discharge

Autor:	Fritsche, B *, Chevolleau, T, Kourtev, J, Kolitsch, A, Möller, W
Zdroj:	In Vacuum 2002 69(1):139-145
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect