Protection of industrial sensors with ta-C
| Autor: | Tiainen, Veli-Matti *, Lappalainen, Reijo, Anttila, Asko |
|---|---|
| Zdroj: | In Vacuum 2002 67(3):599-604 |
| Databáze: | ScienceDirect |
| Externí odkaz: |
|
| Autor: | Tiainen, Veli-Matti *, Lappalainen, Reijo, Anttila, Asko |
|---|---|
| Zdroj: | In Vacuum 2002 67(3):599-604 |
| Databáze: | ScienceDirect |
| Externí odkaz: |
|
Full Text from ScienceDirect