GaN films deposited by planar magnetron sputtering

Autor:	Kikuma, T, Tominaga, K *, Furutani, K, Kusaka, Kazuya, Hanabusa, Takao, Mukai, Takashi
Zdroj:	In Vacuum 2002 66(3):233-237
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect