The influence of thermal stability on the properties of Cu3N layers synthesized by pulsed magnetron sputtering method

Autor: Okrasa, S., Wilczopolska, M., Strzelecki, G., Nowakowska-Langier, K., Chodun, R., Minikayev, R., Król, K., Skowronski, L., Namyślak, K., Wicher, B., Wiraszka, A., Zdunek, K.
Zdroj: In Thin Solid Films 1 October 2021 735
Databáze: ScienceDirect