Growth of RuO 2 thin films by liquid injection atomic layer deposition
| Autor: | Hušeková, K., Dobročka, E., Rosová, A., Šoltýs, J., Šatka, A., Fillot, F., Fröhlich, K. |
|---|---|
| Zdroj: | In Thin Solid Films 2010 518(16):4701-4704 |
| Databáze: | ScienceDirect |
| Externí odkaz: |
|
Full Text from ScienceDirect