Correlation between hardness and stress in Al–(Nb, Mo, Ta) thin films
Autor: | Car, T., Radić, N., Panjan, P., Čekada, M., Tonejc, A. |
---|---|
Zdroj: | In Thin Solid Films 2009 517(16):4605-4609 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |
Autor: | Car, T., Radić, N., Panjan, P., Čekada, M., Tonejc, A. |
---|---|
Zdroj: | In Thin Solid Films 2009 517(16):4605-4609 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |