Characteristics of monopole antenna plasmas for TEOS PECVD
Autor: | Takizawa, K., Mori, Y., Miyatake, N., Murata, K. |
---|---|
Zdroj: | In Thin Solid Films 2008 516(11):3605-3609 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |
Autor: | Takizawa, K., Mori, Y., Miyatake, N., Murata, K. |
---|---|
Zdroj: | In Thin Solid Films 2008 516(11):3605-3609 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |