Hydrogenation of polycrystalline silicon thin films
| Autor: | Honda, S., Mates, T., Knížek, K., Ledinský, M., Fejfar, A., Kočka, J., Yamazaki, T., Uraoka, Y., Fuyuki, T. |
|---|---|
| Zdroj: | In Thin Solid Films 2006 501(1):144-148 |
| Databáze: | ScienceDirect |
| Externí odkaz: |
|
Full Text from ScienceDirect