Properties of a-Si:H films grown using hot wire-ECR plasma techniques
Autor: | Dalal, Vikram L. *, Seberger, Paul, Ring, Matt, Sharma, Puneet |
---|---|
Zdroj: | In Thin Solid Films 2003 430(1):91-94 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |
Autor: | Dalal, Vikram L. *, Seberger, Paul, Ring, Matt, Sharma, Puneet |
---|---|
Zdroj: | In Thin Solid Films 2003 430(1):91-94 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |