Diamond and hard carbon films for microelectromechanical systems (MEMS)—a nanotribological study

Autor:	Forbes, Ian S. *, Wilson, John I.B.
Zdroj:	In Thin Solid Films 2002 420:508-514
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect