Self-assembled block polymer templates as high resolution lithographic masks

Autor:	Aissou, K., Kogelschatz, M., Baron, T., Gentile, P.
Zdroj:	In Surface Science 2007 601(13):2611-2614
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect