Multilayer thin film thickness measurement using sensitivity separation method

Autor:	Gong, Xing-zhi, Cheng, Liang, Yu, Fei-hong
Zdroj:	In Optics Communications 2010 283(20):3989-3993
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect