Microwave and hot filament chemical vapour deposition of diamond multilayers on Si and WC–Co substrates
Autor: | Kadlečíková, M., Vojs, M., Breza, J., Veselý, M., Frgala, Z., Michalka, M., Matějková, J., Vojačková, A., Daniš, T., Marton, M. |
---|---|
Zdroj: | In Microelectronics Journal January 2007 38(1):20-23 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |