Radio-frequency magnetron co-sputtered Ge-Sb-Te phase change thin films
| Autor: | Bouška, Marek, Nazabal, Virginie, Gutwirth, Jan, Halenkovič, Tomáš, Němec, Petr |
|---|---|
| Zdroj: | In Journal of Non-Crystalline Solids 1 October 2021 569 |
| Databáze: | ScienceDirect |
| Externí odkaz: |
|
Full Text from ScienceDirect