Growth and characterization of zirconium oxide thin films on silicon substrate
Autor: | Kuei, P.Y., Chou, J.D., Huang, C.T., Ko, H.H., Su, S.C. |
---|---|
Zdroj: | In Journal of Crystal Growth 2011 314(1):81-84 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |
Autor: | Kuei, P.Y., Chou, J.D., Huang, C.T., Ko, H.H., Su, S.C. |
---|---|
Zdroj: | In Journal of Crystal Growth 2011 314(1):81-84 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |