Gadolinium oxide thin films by atomic layer deposition

Autor: Niinistö, Jaakko, Petrova, Nikolina, Putkonen, Matti, Niinistö, Lauri, Arstila, Kai, Sajavaara, Timo
Zdroj: In Journal of Crystal Growth 2005 285(1):191-200
Databáze: ScienceDirect