4 - Focused ion beams for nano-machining and imaging
Autor: | Utlaut, M. |
---|---|
Zdroj: | In Nanolithography 2014:116-157 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |
Autor: | Utlaut, M. |
---|---|
Zdroj: | In Nanolithography 2014:116-157 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |