3 - MEMS and NEMS Simulation
| Autor: | Korvink, Jan G., Rudnyi, Evgenii B., Greiner, Andreas, Liu, Zhenyu |
|---|---|
| Zdroj: | In MEMS 2006:93-186 |
| Databáze: | ScienceDirect |
| Externí odkaz: |
|
| Autor: | Korvink, Jan G., Rudnyi, Evgenii B., Greiner, Andreas, Liu, Zhenyu |
|---|---|
| Zdroj: | In MEMS 2006:93-186 |
| Databáze: | ScienceDirect |
| Externí odkaz: |
|