Adsorption-desorption studies using ESD of CCl 2F 2, C 2H 2F 2 and C 2F 6 on tungsten
Autor: | De Moraes, Mario A.B., Lichtman, David |
---|---|
Zdroj: | In Surface Science 1985 160(2):362-378 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |
Autor: | De Moraes, Mario A.B., Lichtman, David |
---|---|
Zdroj: | In Surface Science 1985 160(2):362-378 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |