Influence of deposition temperature on amorphous structure of PECVD deposited a-Si:H thin films
| Autor: | Müllerová Jarmila, Fischer Marinus, Netrvalová Marie, Zeman Miro, Šutta Pavel |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2011 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Open Physics, Vol 9, Iss 5, Pp 1301-1308 (2011) |
| Druh dokumentu: | article |
| ISSN: | 2391-5471 |
| DOI: | 10.2478/s11534-011-0041-4 |
| Databáze: | Directory of Open Access Journals |
| Externí odkaz: |
|