Optimizing Backscattered Electron Detection in SEM: Diode Layout and Collection Efficiency

Autor: Abbasi Mozhdeh, Schmid Maximilian, Mafodda Alessia, Aschauer Stefan
Jazyk: English<br />French
Rok vydání: 2024
Předmět:
Zdroj: BIO Web of Conferences, Vol 129, p 05019 (2024)
Druh dokumentu: article
ISSN: 2117-4458
DOI: 10.1051/bioconf/202412905019
Databáze: Directory of Open Access Journals