Simulation of the motion of poly-atoms in the early stage of the film growth(薄膜生长初期多原子移动影响的模拟)

Autor: SONGChen-lu(宋晨路), LIUYong(刘涌), HANGao-rong(韩高荣)
Jazyk: čínština
Rok vydání: 2003
Předmět:
Zdroj: Zhejiang Daxue xuebao. Lixue ban, Vol 30, Iss 3, Pp 274-276 (2003)
Druh dokumentu: article
ISSN: 1008-9497
Popis: 模拟了在低温底上沉积单层薄膜初期的表面形貌.提出了新的算法,实现了多个原子同时在沉积基底上移动的过程,克服了以往只能模拟基底上仅有一个运动原子的缺点,同时引入了沉积流量,并在此基础上讨论了移动步数、沉积流量等因素对生长的影响作用.模拟结果与实验相近,获得的花样具有分形特征.
Databáze: Directory of Open Access Journals