Electron Irradiation-Induced Degradation of TiN Thin Films on Quartz and Sapphire Substrates
| Autor: | Gulnur Akhtanova, Yerassyl Yerlanuly, Hryhorii P. Parkhomenko, Mykhailo V. Solovan, Andrii I. Mostovyi, Aliya K. Nurmukhanbetova, Alexander V. Kireyev, Igor V. Danko, Pavel A. Oreshkin, Timur K. Zholdybayev, Daniyar M. Janseitov, Tlekkabul S. Ramazanov, Viktor V. Brus |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2023 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | ACS Omega, Vol 9, Iss 1, Pp 925-933 (2023) |
| Druh dokumentu: | article |
| ISSN: | 2470-1343 |
| DOI: | 10.1021/acsomega.3c07053 |
| Databáze: | Directory of Open Access Journals |
| Externí odkaz: |
|