| Autor: |
Aip Saripudin |
| Jazyk: |
English<br />Indonesian |
| Rok vydání: |
2015 |
| Předmět: |
|
| Zdroj: |
Jurnal Fisika, Vol 5, Iss 2 (2015) |
| Druh dokumentu: |
article |
| ISSN: |
2088-1509 |
| DOI: |
10.15294/jf.v5i2.7408 |
| Popis: |
Pendeposisian sejumlah film tipis Co:TiO2 telah selesai dilakukan. Film dideposisikan pada substrat Si(100) tipe-n menggunakan teknik MOCVD. Konsentrasi doping Co bervariasi dari 0,1 % sampai dengan 1,1 %. Penelitian ini difokuskan pada efek doping Co pada konstanta kisi film tipis polikristal TiO2. Hasil penelitian menunjukkan bahwa pemberian doping Co pada film TiO2 menyebabkan penyusutan konstanta kisi film tersebut. |
| Databáze: |
Directory of Open Access Journals |
| Externí odkaz: |
|
