Evaluación del espesor de capas delgadas mediante análisis EDS y simulación de Monte Carlo

Autor:	J. C. García, F. Peñalba
Jazyk:	English<br />Spanish; Castilian
Rok vydání:	2010
Předmět:	capas finas nanométricas monte carlo eds aceros materiales metálicos Mining engineering. Metallurgy TN1-997
Zdroj:	Revista de Metalurgia, Vol 46, Iss Extra, Pp 95-100 (2010)
Druh dokumentu:	article
ISSN:	0034-8570 1988-4222
DOI:	10.3989/revmetalmadrid.10XIIPMS
Popis:	En este trabajo se presenta un método de evaluación de espesores de capas delgadas mediante la técnica de energías dispersivas de rayos X (EDS). Las medidas analíticas de las áreas de los picos característicos de los elementos detectados en las capas, obtenidas mediante esta técnica, se complementan con simulaciones de Monte Carlo de las trayectorias de los electrones en el volumen de interacción. Esto, junto con las estimaciones de la intensidad de los picos característicos obtenidos mediante el algoritmo de Bethe, Joy & Luo, posibilita realizar la estimación de los espesores de las muestras analizadas.
Databáze:	Directory of Open Access Journals
Externí odkaz:	https://doaj.org/article/9dddc94f7b764809a8dc5e62de5407a3 Zobrazit plný text záznamu View record in DOAJ