Artificial Neural Network Based Detection and Diagnosis of Plasma-Etch Faults

Autor:	Baluja, Shumeet, Maxion, Roy A.
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	1997
Předmět:	Science Electronic computers. Computer science QA75.5-76.95
Zdroj:	Journal of Intelligent Systems, Vol 7, Iss 1-2, Pp 57-82 (1997)
Druh dokumentu:	article
ISSN:	0334-1860 2191-026X
DOI:	10.1515/JISYS.1997.7.1-2.57
Databáze:	Directory of Open Access Journals
Externí odkaz:	https://doaj.org/article/95853d34652446fd8b704c4b7964d7f3 Zobrazit plný text záznamu View record in DOAJ