In-situ electrical characterization of MOSFET transistors using AFM-in-SEM solution
| Autor: | Novotny Ondrej, Strakos Libor, Patocka Marek, Schanilec Vojtech, Hegrova Veronika, Celano Umberto, Vystavel Tomas, Neuman Jan |
|---|---|
| Jazyk: | English<br />French |
| Rok vydání: | 2024 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | BIO Web of Conferences, Vol 129, p 24023 (2024) |
| Druh dokumentu: | article |
| ISSN: | 2117-4458 |
| DOI: | 10.1051/bioconf/202412924023 |
| Databáze: | Directory of Open Access Journals |
| Externí odkaz: |
|