Propiedades mecánicas de Recubrimientos de Ti-Si-N sintetizado por pulverización catódica reactiva
| Autor: | Jose Luis Guerra Betancourt, Juan Manuel González Carmona, Alexander Ruden Muñoz, Carolina Ortega, Federico Sequeda |
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| Jazyk: | English<br />Spanish; Castilian |
| Rok vydání: | 2015 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Informador Técnico, Vol 79, Iss 1, Pp 11-17 (2015) |
| Druh dokumentu: | article |
| ISSN: | 22565035 0122-056X 2256-5035 |
| DOI: | 10.23850/22565035.132 |
| Popis: | Se depositaron recubrimientos de Ti-Si-N mediante DC Magnetrón Sputtering reactivo, sobre sustratos de acero inoxidable AISI 304, variando el flujo de N2, con el fin de estudiar su efecto en las propiedades estructurales, mecánicas y tribológicas. Los recubrimientos se depositaron utilizando un blanco de Ti-Si (90-10 % at.) con 99,999% de pureza. La caracterización estructural se realizó por medio de Difracción de Rayos X (XRD), con lo cual se encontraron los picos correspondientes a cristalitos de TiN. Al no encontrar evidencias de la formación de las fases Ti-Si-N, Ti-Si, Ti o Si libre, se determinó que el compuesto está formado por granos cristalinos de TiN en una matriz amorfa de SiN. Dicho resultado está apoyado en análisis realizados por FTIR y EDS. Las propiedades mecánicas fueron estudiadas por medio de nanoindentación, obteniendo valores de dureza alrededor de 23 GPa cuando se utilizan bajos flujos de N2 |
| Databáze: | Directory of Open Access Journals |
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