Optical emission spectroscopy for diagnosis of diamond growth and etching processes in microwave plasma
| Autor: | Yurov V.Yu., Bushuev E.V., Bolshakov A.P., Antonova I.A., Ralchenko V.G., Konov V.I. |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2017 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | EPJ Web of Conferences, Vol 149, p 02013 (2017) |
| Druh dokumentu: | article |
| ISSN: | 2100-014X |
| DOI: | 10.1051/epjconf/201714902013 |
| Databáze: | Directory of Open Access Journals |
| Externí odkaz: |
|