Temperature Dependence of Ultrathin Mixed-Phase Ga2O3 Films Grown on the α‑Al2O3 Substrate via Mist-CVD

Autor: Abhay Kumar Mondal, Loh Kean Ping, Muhammad Aniq Shazni Mohammad Haniff, Mohd Arif Mohd Sarjidan, Boon Tong Goh, Mohd Ambri Mohamed
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: ACS Omega, Vol 7, Iss 2, Pp 2252-2259 (2022)
Druh dokumentu: article
ISSN: 2470-1343
DOI: 10.1021/acsomega.1c05859
Databáze: Directory of Open Access Journals