Temperature Dependence of Ultrathin Mixed-Phase Ga2O3 Films Grown on the α‑Al2O3 Substrate via Mist-CVD
Autor: | Abhay Kumar Mondal, Loh Kean Ping, Muhammad Aniq Shazni Mohammad Haniff, Mohd Arif Mohd Sarjidan, Boon Tong Goh, Mohd Ambri Mohamed |
---|---|
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | ACS Omega, Vol 7, Iss 2, Pp 2252-2259 (2022) |
Druh dokumentu: | article |
ISSN: | 2470-1343 |
DOI: | 10.1021/acsomega.1c05859 |
Databáze: | Directory of Open Access Journals |
Externí odkaz: |