Imaging MEMS motion at nano scale by time-resolved scanning electron microscopy

Autor: Zaghloul Mohamed, Mehr Abbas Kosari, Bertacco Riccardo, Cuccurullo Simone, Maspero Federico, Pavese Giulia, Chen Hao, Ghisi Aldo, Corigliano Alberto, Pietralunga Silvia M., Tagliaferri Alberto
Jazyk: English<br />French
Rok vydání: 2024
Předmět:
Zdroj: BIO Web of Conferences, Vol 129, p 09006 (2024)
Druh dokumentu: article
ISSN: 2117-4458
17761441
DOI: 10.1051/bioconf/202412909006
Databáze: Directory of Open Access Journals