Application of Plasmon-Induced Lithography for Creation of a Residual-Free Pattern and Simple Surface Modifications

Autor: Roman Elashnikov, Jaromír Háša, Lukáš Děkanovský, Jaroslav Otta, Přemysl Fitl, Václav Švorčík, Oleksiy Lyutakov
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2019
Předmět:
Zdroj: ACS Omega, Vol 4, Iss 3, Pp 5534-5539 (2019)
Druh dokumentu: article
ISSN: 2470-1343
DOI: 10.1021/acsomega.8b03039
Databáze: Directory of Open Access Journals