Métodos empleados en el análisis de espectroscopía óptica de emisión: una revisión

Autor: D M Devia, L. V Rodriguez-Restrepo, E Restrepo-Parra
Jazyk: English<br />Spanish; Castilian
Rok vydání: 2015
Předmět:
Zdroj: Ingeniería y Ciencia, Vol 11, Iss 21 (2015)
Druh dokumentu: article
ISSN: 1794-9165
2256-4314
DOI: 10.17230/ingciencia.11.21.12
Popis: En este trabajo se presentan diferentes métodos empleados para el análisis de espectros ópticos de emisión. El propósito es calcular la temperatura de excitación (Texc), temperatura electrónica (Te) y densidad electrónica (ne) empleando diversas técnicas usadas en el crecimiento de películas delgadas. Algunas de estas técnicas incluyen magnetron sputtering y descargas n arco. Inicialmente, se describirán algunos principios fundamentales que soportan la técnica de Espectroscopía Óptica de Emisión (EOE); posteriormente, se considerarán algunas reglas que deben considerarse para el análisis de espectros con el fin de evitar ambigüedades. Finalmente, se presentarán algunos d los métodos espectroscópicos más determinar las propiedades físicas de plasmas. PACS: 52.25.Dg, 31.15.V
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