Investigation of composition and origin of the intermediate layers at the Ga2O3/AlN and Ga2O3/Al2O3 interfaces
| Autor: | Schowalter Marco, Raghuvansy S., Karg A., Vogt P., Schlom D., Jena D., Eickhoff M., Rosenauer A. |
|---|---|
| Jazyk: | English<br />French |
| Rok vydání: | 2024 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | BIO Web of Conferences, Vol 129, p 24042 (2024) |
| Druh dokumentu: | article |
| ISSN: | 2117-4458 |
| DOI: | 10.1051/bioconf/202412924042 |
| Databáze: | Directory of Open Access Journals |
| Externí odkaz: |
|