Investigation of the properties of a 3-level broadband antireflective structure on silicon by THz time-domain spectroscopy
| Autor: | Tzibizov I.A., Kropotov G.I., Pavelyev V.S., Tukmakov K.N., Reshetnikov A.S. |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2018 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | EPJ Web of Conferences, Vol 195, p 06016 (2018) |
| Druh dokumentu: | article |
| ISSN: | 2100-014X |
| DOI: | 10.1051/epjconf/201819506016 |
| Databáze: | Directory of Open Access Journals |
| Externí odkaz: |
|